نوآوری بومی در دل خلأ؛ عرضه چهار دستگاه راهبردی برای پژوهش و صنعت

طبق اعلام گروه علمی IRNA روز یکشنبه ، دستگاه های تولیدی پوشش نانوساختار کاربردهای گسترده ای در مناطقی مانند الکترونیک ، اپتیک ، میکروسکوپ های الکترونی ، سنسورهای دقیق و حتی سلولهای خورشیدی ، ابزاری استراتژیک برای مؤسسات تحقیقاتی ، دانشگاه ها و مراکز صنعتی در کشور هستند.

دستگاه لایه بندی توسط تبخیر حرارتی دسک تاپ ، دستگاه پراکندگی دسک تاپ ، لایه لیزر پالس و تبخیر حرارتی و دستگاه لایه کربن دسک تاپ ، هر کدام دارای ویژگی های خاص خود ، به بخشی از نیازهای تخصصی میدان مهندسی سطح پاسخ دادند.

دستگاه تبخیر حرارتی دسک تاپ (مدل DTT): روکش ظریف نانومتر

لایه تبخیر حرارتی یکی از متداول ترین روشها در ایجاد پوشش های نازک است. طراحی شده توسط مدل DTT ، پوشش های نانوساختار این فرآیند را به صورت یک دسک تاپ جمع و جور و قابل اعتماد ارائه داده اند.

در این روش ، ماده منبع ، که معمولاً فلزی ، نیمه هادی یا حتی سرامیک است ، در یک محفظه خلاء قرار می گیرد و از طریق رشته ها عبور می کند تا جریان الکتریکی زیادی را منتقل کند. این جریان باعث گرمایش و در نهایت تبخیر مواد می شود. در نتیجه تفاوت فشار در فضای خلاء ، اتم های تبخیر شده حرکت می کنند و روی آن می نشینند.

کاربردهای کلیدی این دستگاه شامل تولید لایه های رسانا برقی نازک ، ساخت پوشش های چند لایه برای سنسورهای الکترونیکی و تجهیزات و لایه فلزات ، سرامیک و نیمه هادی است.

طراحی جمع و جور دستگاه ، آن را به یک انتخاب مناسب برای مؤسسات تحقیقاتی و دانشگاه هایی که محدودیت های فضا دارند ، تبدیل کرده است ، اما در عین حال برای لایه نانومتر به ابزارهای دقیق نیاز دارد.

دستگاه پراکندگی دسک تاپ (DSR2 ، DST3-L ، DST3-T و DST3-A): انعطاف پذیری در انتخاب پوشش

پراکنده یا گروه کر فیزیکی یکی از دقیق ترین راه ها برای ساخت لایه های نازک در دنیای فناوری نانو است. در این روش ، اتم های پوشش از سطح یک هدف (هدف) با استفاده از پلاسما جدا شده و به شرکت تابعه شتاب می گیرند.

روکش های نانوساختار خانواده ای از دستگاه های پراکنده دسک تاپ تولید کرده اند که هر یک به شکل کاربران به شکل یک ، دو یا سه مدل ارائه می شوند. از این دستگاه ها می توان برای طیف گسترده ای از مواد رسانا ، نیمه هادی و Dioteric استفاده کرد و از انعطاف پذیری بالایی برای کنترل پارامترهای فرآیند برخوردار است.

قابلیت ها و کاربردهای این دستگاه شامل نانوکامپوزیت و لایه نانوساختار ، تولید سلولهای خورشیدی ، تولید دستگاههای نانوالکترونیک و میکروالکترونیک و تهیه نمونه های مناسب برای میکروسکوپ الکترونی است.

یکی از مزایای این دستگاه ، امکان تنظیم دقیق پارامترها مانند قدرت کاتد ، فشار گاز ، زمان لایه و سرعت چرخش بستر است که امکان تکرار دقیق و کنترل خواص لایه ها را فراهم می کند.

لیزر لیزر ترکیبی و تبخیر حرارتی (PLD-T): انعطاف پذیری منحصر به فرد برای مواد پیچیده

ترکیبی از دو روش لایه در یک دستگاه گام مهمی در افزایش بهره وری و انعطاف پذیری تجهیزات است. مدل PLD-T یکی از محصولات پیشرفته پوشش های نانوساختار است که از دو مکانیسم تبخیر لیزر پالس (PLD) و تبخیر حرارتی در یک سیستم خلاء استفاده می کند.

در روش PLD ، یک پرتو لیزر قدرتمند با پالس های کوتاه (کمتر از چند نانوسترویز) به سطح ماده هدف برخورد می کند و آن را تبخیر می کند. این روش به دلیل انرژی زیاد و کنترل استوکیومتری برای ساخت لایه هایی با ترکیب شیمیایی دقیق و پیشرفته بسیار مناسب است. از طرف دیگر ، این سیستم دارای سه گیاه حرارتی برای تبخیر حرارتی همزمان یا متوالی است که باعث افزایش استفاده از آن در ساخت لایه های چند رنگ ، متنوع و ساختاری می شود.

نکات برجسته این دستگاه شامل قابلیت لایه بندی مواد پیچیده و چند رنگ ، تبخیر دقیق با حداقل ترکیب شیمیایی ، مناسب برای تولید ابررسانا ، مواد مغناطیسی ، فوتوکاتالیست ها و کنترل کامل بر پارامترهای فرآیند در هر دو حالت PLD و حرارتی است.

حضور این دو فناوری در یک دستگاه واحد فرصت های منحصر به فردی برای طراحی خاصیت منحصر به فرد نور ، الکتریکی و مکانیکی فراهم می کند.

لایه کربن رومیزی (مدل های DCR و DCT): راه حل حرفه ای برای تصویربرداری الکترونی

تهیه نمونه های عایق برای تیراندازی با میکروسکوپ الکترونی الکترونی اسکن همیشه یک چالش اساسی در تحقیقات سطح و مواد بوده است. شرکت پوشش های نانوساختار با تولید مدل های DCR و DCT از لایه کربن رومیزی به این نیاز تخصصی پاسخ داده است.

در این روش ، یک رشته یا میله کربن بین دو الکترود جریان فوقانی در محفظه خلاء قرار دارد و کربن را تبخیر می کند و روی نمونه قرار می گیرد. چرخش متعالی در طول لایه ، یک پوشش یکنواخت و کنترل شده ایجاد می کند.

این دستگاه برای پوشش یکنواخت نمونه های عایق مناسب است و می تواند در SEM استفاده شود. پایداری شیمیایی و سازگاری زیاد با محیط خلاء و طراحی متراکم برای محیط های آزمایشگاهی از دیگر ویژگی های این دستگاه است. پوشش کربن نه تنها مانع از شارژ نمونه در میکروسکوپ الکترونی می شود ، بلکه به حفظ کیفیت تصویر و تقویت جزئیات قابل مشاهده نیز کمک می کند.

با توسعه این چهار سیستم لایه ، پوشش های نانوساختار گامی مؤثر در جهت بومی سازی فن آوری های لایه پیشرفته برداشته اند. دستگاه های قبلاً وارداتی اکنون در داخل کشور با رقابت با کیفیت بالا و بین المللی تولید می شوند. علاوه بر پشتیبانی فنی و خدمات پس از فروش ، طراحی مدولار ، انعطاف پذیری در پیکربندی و امکان سفارش با توجه به نیاز کاربران ، مزایای اصلی این محصولات است.

ضمن دستیابی به ابزارهای آزمایشگاهی پیشرفته در جهان با بهداشت و هزینه های بالایی روبرو است ، تولید چنین تجهیزات در داخل کشور نه تنها وابستگی را کاهش می دهد ، بلکه نیروی محرکه رشد فناوری نانو ، مهندسی مواد و صنایع پیشرفته را نیز کاهش می دهد.